质量流量控制器（MassFlowController缩写为MFC）用于精确测量和控制气体或液体的质量流量。**应用于真空镀膜、光纤熔炼、微反应装置、气体混合系统、毛细管测量气相色谱仪、光纤制造等设备。以及石化、冶金、制药等行业。

质量流量控制器一般分为以下几种：

1、容积式流量计——又称定排量流量计。它利用机械测量元件将流体连续分成单个已知体积部分，并根据测量室中连续填充和排出流体体积部分的次数来测量流体体积流量。

2、浮子式流量计——又称转子流量计，是一种变截面流量计。在一个自下而上膨胀的立式锥管中，圆形截面浮子的重力由液体所承受的力所决定，使浮子在锥管内可以自由升降。

3、差压流量计——是根据安装在管道中的流量检测装置产生的差压、已知的流体状况以及检测室和管道的大小来计算流量的仪表。

4、涡街流量计——将非流线型涡流发生器置于流体中，流体在发生器两侧交替分离，释放出两组规则交错的涡流。

5.涡轮流量计-是速度流量计的主要类型。它采用多叶片转子（涡轮）感应流体的平均流速，从而推导出流量计的流量或总量。

6、超声波流量计——通过检测流体流动对超声波束（或超声波脉冲）的影响来测量流量的仪表。

7、电磁流量计——电磁流量计是根据法拉第电磁感应定律制成的测量导电液体的仪表。电磁流量计具有一系列优良的特性，可以解决其他流量计不易应用的问题，如脏流量和腐蚀性流量的测量。

8.热式流量计——热式流量计传感器包含两个传感元件，一个流量传感器和一个温度传感器。它们会自动补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将转速传感器加热到高于工况温度的一定值，使转速传感器与测量工况温度的传感器之间形成恒定的温差。当温差保持恒定时，电加热所消耗的能量，也可以说是散热值，与流过的气体质量流量成正比。适用于单一气体和固定比例的多种组分。气体测量。

9、科里奥利流量计——其原理是利用流体在振动管中流动时产生的科里奥利力直接或间接测量该力，从而得到流体质量流量。